純黄色蛍光灯 《半導体工業用》 直管 ラピッドスタート形 40W FLR40SY-F/M/LSI
生産完了品
| メーカー | NEC(エヌイーシー) |
|---|---|
| 型番 | FLR40SY-F/M/LSI |
| JANコード | 4904323602896 |
- 【特長】
●半導体工業におけるウエハーへのパターン焼付にはフォトレジストを使用します。
このパターン焼付作業室の照明光は500nm以下の波長成分の無いものが要求されております。
このような用途に最適な蛍光ランプで、ガラス内面に500nm以下の波長成分をほぼ完全にカットする黄色フィルタ層を設けその上に蛍光体を塗布した構造となっています。
●最近の半導体工業の進展はめざましく、より集積度の高いLSI、VLSなどへ製品の中心が移っております。このような集積度の高いより微細なパターン焼付に際しては500nm以下の波長成分のより完全でより確実なカットが要望されています。また半導体パターン焼付作業はクリーンルーム内で実施されていますがランプが破損するというアクシデントに際してもクリーンルーム内に飛散しない飛散防止形が要望されています。
●このようなご要望を満足させるニュータイプとして高信頼形・LSI用純黄色蛍光ランプをラインアップしました。
●構造図は、純黄色蛍光ランプのガラス外面全面に黄色ポリエステルチューブを熱収縮加工により密着させたものです。 - 【仕様】
●大きさの区分:40形
●定格ランプ電力(W):40
●寸法(mm):【管径】32.5×【管長】1198
●質量(g):255
●ランプ電流(A):0.42
●全光束(lm):1520
●定格平均寿命(時間):10000※大変お買い得なケース販売(25本セット)も掲載しております。(型番_setで検索してください)
